氣相沉積爐的優勢有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。下面是關于爐子優勢介紹。　　電阻爐可采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調控，壓力波動小；　　全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　多級尾氣處理系統，環境友好，能很快收集焦油及副產物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環快冷系統，降溫時間短，生產效率高。

　　關于真空燒結爐的兩種結構介紹　　真空燒結爐采用耐熱鋼制造的真空罐放入電阻爐中，根據真空熱處理工藝的需要，配接適當的真空系統，即成為筒單的真空熱處理爐。是由電阻爐，真空罐硬和真空泵真空悶門、真空計等構成的真空系統。其熱源在真空的外部，也就是電熱元件設置在真空罐的外部，工件放在真空罐的內部，靠間接加熱。　　真空燒結爐有以下幾種結構：　　1.鐘罩式結構　　這種結構的真空缺座落在爐底上，整個真空熔煉爐爐底和真空罐可以借助于電動或液壓傳動升降，以完成裝出料操作并能縮短冷卻時間。也可以采取真空罐和爐底固定不動，罩式爐體升降的方法來完成進出料操作等，但是爐體升降較為復雜。采用哪一種方法，要根據現場實際情況而定。　　2.雙真空結構　　這種結構不僅真空罐內部被抽成真空，而且真空罐外部的真空熔煉爐爐體部分也被抽成真空。這樣，就可以減少真空鑲承受的壓力，避免真空罐外壁氧化和變形，延長了真空罐的使用壽命。　　在使用時還要注意，真空罐是真空燒結爐的關鍵性部件。由于真空罐須在高溫和一個大氣壓的外壓條件下工作，所以，真空罐的材料應具備良好的熱穩定性和耐氧化性，間接性能要好，焊縫不易產生氣孔、開裂，保證高溫氣密性。材料成分中的元素蒸氣壓要低，防止合金元素在高溫、高真空下揮發。