真空燒結(jié)爐主要用于活性金屬和難溶金屬以及硬質(zhì)合金，磁性材料和不銹鋼等的燒結(jié)。它實(shí)際上是低壓(減壓)燒結(jié)。真空度愈高，愈接近中性氣氛，愈與材料不發(fā)生任何化學(xué)反應(yīng)。 　　真空燒結(jié)爐的主要優(yōu)點(diǎn)是： 　　(1)真空有利于排除吸附氣體，對促進(jìn)燒結(jié)后期的收縮作用明顯。 　　(2)真空有利于硅，鋁，鎂，鈣等雜質(zhì)或其氧化物的排除，起到提純材料的作用。 　　(3)真空可改善液相燒結(jié)的潤濕性，有利于燒結(jié)過程中的收縮和改善合金的組織結(jié)構(gòu)。 　　(4)真空是理想的惰性氣氛，當(dāng)不宜用其他還原性或惰性氣體時，或者對容易出現(xiàn)脫碳，滲碳的材料，均可采用真空燒結(jié)爐。 　　(5)減少氣氛中的有害成分(水，氧，氮等)對產(chǎn)品的玷污。例如，電解氫中的含水量要求降至***-40℃較為困難;而真空燒結(jié)時，真空度只要在數(shù)百Pa就相當(dāng)于含水量為***-40℃。 　　真空下的液相燒結(jié)，發(fā)生粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失是個重要問題。這不僅改變和影響合金的***終成分和組織結(jié)構(gòu)，而且對燒結(jié)過程本身也起阻礙作用。粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失，主要是在燒結(jié)后期(即保溫階段)發(fā)生。真空燒結(jié)爐的保溫時間越長，粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失越多。為此，化物雜質(zhì)，水分等與材料中的碳發(fā)生反應(yīng)，生成CO隨爐排出。此時爐壓明顯提高，合金中的總碳量降低。顯然，碳含量的變化取決于原材料粉末中的氧含量以及燒結(jié)時的真空度。兩者越高時，生成一氧化碳的反映越容易進(jìn)行，脫碳也越嚴(yán)重。 　　真空燒結(jié)爐的真空燒結(jié)與氣體保護(hù)燒結(jié)的工藝沒有根本區(qū)別，只是燒結(jié)溫度低一些，一般可降低100~150℃。這有利于延長燒結(jié)爐的壽命和降低電能的消耗。

　　真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)上要滿足哪些要求呢 　　真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行精確的控制。 　　因此，真空燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求： 　　(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。 　　(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護(hù)氣氛暢通。 　　(3)爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)。 　　(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。 　　真空燒結(jié)爐使用的注意事項 　　(1)當(dāng)使用氫氣或分解氨時，要先通入氮?dú)猓诖_保爐中的空氣完全被排出時，才能通電升溫，以防止打鳴和爆炸。 　　(2)對鉬絲作加熱元件的燒結(jié)爐，在通電前爐體中應(yīng)通入保護(hù)氣體，以防止鉬絲氧化而脆斷。 　　(3)真空燒結(jié)爐爐門及氣體排出口應(yīng)點(diǎn)明火燒除，以防止氧氣進(jìn)入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。 　　(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲，在升溫至1100℃時應(yīng)停留一段時間(30min左右)再升溫，以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。 　　(5)在升溫前和操作中應(yīng)不時檢查氣流、水流是否符合要求，以及檢查設(shè)備、電和爐溫的控制儀表是否正常。 　　(6)停爐前應(yīng)先斷電，在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。 　　(7)除了因維修要停真空燒結(jié)爐爐外，要避免頻繁停爐。燒結(jié)爐的頻繁開停，會造成加熱元件易于老化，耐火材料易于碎裂，爐內(nèi)氣氛不純，爐溫容易波動等弊端。